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简述了几种Al2O3薄膜的制备方法,使用中频孪生靶非平衡磁控溅射系统制备了掺铒Al2O3薄膜,并对其进行检测,结果表明该方法制备的薄膜适于制作光纤放大器.
掺铒Al2O3薄膜的性能与制备
【摘 要】
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简述了几种Al2O3薄膜的制备方法,使用中频孪生靶非平衡磁控溅射系统制备了掺铒Al2O3薄膜,并对其进行检测,结果表明该方法制备的薄膜适于制作光纤放大器.
【机 构】
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大连理工大学,大连理工大学
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2004年6期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)
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