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期刊论文
微机械电子学系统
微机械电子学系统
来源 :电子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:BruceLee_123
【摘 要】
:
本文简要地评述了微机构、微传感器、微执行器的发展,提出了微机械电子学系统的概念,指出了微机械电子学系统的发展前景。更多还原
【作 者】
:
孙彦卿
石广元
【机 构】
:
辽宁大学,辽宁大学沈阳110036,沈阳110036
【出 处】
:
电子学报
【发表日期】
:
1993年5期
【关键词】
:
微机械
微传感器
微执行器
微机构
Micromachine
Microsensor
Microactuator
Micromechanism
Micr
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本文简要地评述了微机构、微传感器、微执行器的发展,提出了微机械电子学系统的概念,指出了微机械电子学系统的发展前景。更多还原
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