【摘 要】
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在电子束曝光机的对准过程中,我们使用两个闪烁晶体光电倍增管作为背散射电子的探测器,采取增大探测器对散射点的立体角,并选用阴极积分灵敏度高的光电倍增管,以及将x,y方向
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在电子束曝光机的对准过程中,我们使用两个闪烁晶体光电倍增管作为背散射电子的探测器,采取增大探测器对散射点的立体角,并选用阴极积分灵敏度高的光电倍增管,以及将x,y方向所取得的信号线性相加等途径,在不要求铬层厚度增加的条件下,将信噪比从3∶1提高到14∶1。
In the electron beam exposure machine alignment process, we use two scintillation crystal photomultiplier tube as a backscattered electron detector, to increase the detector on the scattering point of the solid angle, and the selection of the cathode with high sensitivity of the photomultiplier tube , And linearly adding the signals obtained in the x and y directions to increase the signal-to-noise ratio from 3: 1 to 14: 1 without increasing the thickness of the chromium layer.
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说明:现选录37所院校1982年已出版的学报中有关电工方面论文题目,以供担任电工方面课程的教师参考。由于我们收集到的学报有限,如有其它学报载有这类的文章,请告知本刊编辑
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