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采用射频反应溅射在瓷管上制备了SnO2气敏薄膜元件，以及用传统方法制备了SnO2厚膜元件．两种元件经测试表现出对乙醇较高的灵敏度，对两种元件进行了性能对比测试．测试表明，无论在灵敏度、响应恢复时间，还是在检测浓度范围上，SnO2气敏薄膜元件都比传统的厚膜元件性能优越．SnO2气敏薄膜元件经过表面修饰，在200×10^-6体积浓度下接近30．对薄膜元件加热温度及选择性进行了研究，初步探讨了元件稳定性及其敏感机理。