【摘 要】
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本文采用溶胶-凝胶法以提拉的方式在普通玻璃基底上制备出n型掺杂具有优良光电性能的氧化锌掺铝(AZO)薄膜,并以磁控溅射AZO薄膜为种子层引导液相法所制备AZO薄膜生长。Al掺杂浓
【机 构】
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蚌埠玻璃工业设计研究院浮法玻璃新技术国家重点实验室
【基金项目】
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国家“973”计划(2012CB724608);安徽省自然科学基金(1408085MKL67);安徽省科技攻关计划项目(1301021015)
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本文采用溶胶-凝胶法以提拉的方式在普通玻璃基底上制备出n型掺杂具有优良光电性能的氧化锌掺铝(AZO)薄膜,并以磁控溅射AZO薄膜为种子层引导液相法所制备AZO薄膜生长。Al掺杂浓度区间为0.25at%~5.00at%。通过X射线衍射仪、场发射扫描电子显微镜、轮廓仪、方块电阻测试仪、霍尔效应测试仪、紫外-可见-红外分光光度计分别研究了薄膜物相、微观结构、膜厚及光电性能,进一步分析了Al掺杂浓度、种子层对薄膜光电性能的影响。结果表明:经10次提拉所制备薄膜可见光透过率85%以上。Al掺杂浓度、种子层的引入对A
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