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提出一种针对MEMS（micro．electro—mechanical systems）器件机械失效进行可靠性建模与预测的概率方法。首先从材料力学性能的尺寸效应出发，介绍脆性材料断裂强度的不确定性及其Weibull概率分布；然后，针对典型的MEMS表面微加工工艺，推导得出基于牺牲层技术的淀积薄膜结构残余热应力表达式；在此基础上，以一种悬臂式MEMS多晶硅器件在冲击载荷下的断裂失效为研究实例，建立体现其尺度、工艺及载荷特性的可靠性分析模型，并利用相关文献对多晶硅力学性能的测试数据，对该器件的冲击可靠度进行定