【摘 要】
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通过电火花加工技术,采用含碳较高的煤油作为电介质,利用导电性能及加工性能较好的紫铜作电极材料,实现了SiO2/CH/Au复合黑腔侧表面方形诊断孔的精密加工.采用OLYMPUS STM6测
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心,中国工程物理研究院超精密加工重点实验室
【基金项目】
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国家高技术发展计划项目,中国工程物理研究院超精密加工重点实验室基金项目（ZZ12002）
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通过电火花加工技术,采用含碳较高的煤油作为电介质,利用导电性能及加工性能较好的紫铜作电极材料,实现了SiO2/CH/Au复合黑腔侧表面方形诊断孔的精密加工.采用OLYMPUS STM6测量显微镜对诊断孔尺寸,结果表明：孔的尺寸加工精度可控制在士10 μm内,同一电极加工的诊断孔尺寸一致性可控制在±5 μm内.采用扫描电镜能谱分析SiO2/CH/Au加工导电层的成分,结果表明：电火花加工过程中,由于电介质分解生成游离态的碳以及电极材料铜熔融后沉积在CH和SiO2层表面,形成辅助导电层.通过加工辅助
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