【摘 要】
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利用射频共溅射方法制备了一系列Co-Ta-O介质颗粒膜,用X射线能量色散谱和X射线光电子谱分析了薄膜的成分和元素价态,用X射线衍射测量了薄膜的晶体结构.结果表明,Co-Ta-O颗粒
【机 构】
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兰州大学教育部磁学与磁性材料重点实验室
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利用射频共溅射方法制备了一系列Co-Ta-O介质颗粒膜,用X射线能量色散谱和X射线光电子谱分析了薄膜的成分和元素价态,用X射线衍射测量了薄膜的晶体结构.结果表明,Co-Ta-O颗粒膜系是由Co颗粒镶嵌在非晶的氧化钽绝缘介质中而形成.通过改变制备条件,研究了溅射电压和Co成分对颗粒膜隧道磁电阻效应的影响.发现磁电阻比值先随Co成分的增加而增加,在Co原子个数比为26%时达最大值,后随Co成分的进一步增加而减小;在Co成分一定的情况下,低的溅射电压有利于获得大的隧道磁电阻比值.
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