【摘 要】
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介绍了经过改造后的柯氏干涉仪用于一等量块的检定。从激光干涉仪直接测量量块长度的原理出发,通过对干涉条纹的整数部分Ⅳ、小数部分ε以及修正量C的确定,计算出量块长度。改
【机 构】
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北京航天计量测试技术研究所,中国测试技术研究院
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介绍了经过改造后的柯氏干涉仪用于一等量块的检定。从激光干涉仪直接测量量块长度的原理出发,通过对干涉条纹的整数部分Ⅳ、小数部分ε以及修正量C的确定,计算出量块长度。改造中结合激光干涉技术、图像采集判读等技术,提高了量块测量准确度,解决了一等量块长度测量问题。
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