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本文主要介绍了Intel式Flash memory单元结构的叠栅自对准腐蚀工艺和有关的叠栅腐蚀原理,分析了Flash叠栅自对准腐蚀对Flash性能的重要性.
Flash memory中的叠栅腐蚀工艺
【摘 要】
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本文主要介绍了Intel式Flash memory单元结构的叠栅自对准腐蚀工艺和有关的叠栅腐蚀原理,分析了Flash叠栅自对准腐蚀对Flash性能的重要性.
【机 构】
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无锡微电子科研中心二室
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2002年5期
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