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本文介绍比值采样法在薄膜厚度测量仪的应用,详细叙述了测量系统的组成原理和主要单元电路的设计.通过采用比值采样技术,在不采用高性能元件的前提下,提高系统测量精度.
比值采样法在智能薄膜厚度测量仪中的应用
【摘 要】
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本文介绍比值采样法在薄膜厚度测量仪的应用,详细叙述了测量系统的组成原理和主要单元电路的设计.通过采用比值采样技术,在不采用高性能元件的前提下,提高系统测量精度.
【机 构】
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淮阴师范学院223001
【出 处】
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电工技术
【发表日期】
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2002年10期
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