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毫秒和微秒级别的LSA退火工艺可以提高逻辑器件和存储器器件的性能。降低热预算需要更短时间的退火工艺。
激光脉冲退火提高器件的性能
【摘 要】
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毫秒和微秒级别的LSA退火工艺可以提高逻辑器件和存储器器件的性能。降低热预算需要更短时间的退火工艺。
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2009年5期
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