【摘 要】
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半导体器件内键合线的线形复杂程度决定键合工序和调试工序的效率.以提高键合工序生产效率为目的,利用射频仿真软件对某成熟半导体器件内匹配线进行从手动键合向自动键合的优
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄,050051
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半导体器件内键合线的线形复杂程度决定键合工序和调试工序的效率.以提高键合工序生产效率为目的,利用射频仿真软件对某成熟半导体器件内匹配线进行从手动键合向自动键合的优化.结合金丝球焊线形特点,进行研究方案设计,通过仿真和测试的方法,最终将手动键合丝形状优化为适合自动球焊键合机键合的线形.射频测试结果表明,优化前后器件的S参数测试结果一致性较好.该优化方案缩短了仿真周期,实现了器件生产从手动键合向自动键合转化,提高了生产效率,改善了器件的一致性,使该器件实现了调测阶段的免调试,满足了大批量生产要求.
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