【摘 要】
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干涉检测时,不同的干涉条纹分布,干涉仪的动态范围是不同的.基于像差理论建立了平面存在倾斜和球面存在离焦时干涉检测的波像差函数,依据干涉采样时能够分辨干涉条纹的特点,建立了两种条纹分布干涉检测动态范围的数学模型.对于像元阵列为640×480探测器,圆形干涉图最大占用探测器像元的阵列为480×480,在平面检测仅存在倾斜时能够分辨的直条纹数为240条,球面检测仅存在离焦时能够分辨的干涉圆环数大约为60个.实验结果表明:基于波像差理论建立的干涉检测动态范围的数学模型是正确的,干涉仪的性能指标得到了进一步的完善.
【机 构】
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南通大学杏林学院,江苏南通226236
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干涉检测时,不同的干涉条纹分布,干涉仪的动态范围是不同的.基于像差理论建立了平面存在倾斜和球面存在离焦时干涉检测的波像差函数,依据干涉采样时能够分辨干涉条纹的特点,建立了两种条纹分布干涉检测动态范围的数学模型.对于像元阵列为640×480探测器,圆形干涉图最大占用探测器像元的阵列为480×480,在平面检测仅存在倾斜时能够分辨的直条纹数为240条,球面检测仅存在离焦时能够分辨的干涉圆环数大约为60个.实验结果表明:基于波像差理论建立的干涉检测动态范围的数学模型是正确的,干涉仪的性能指标得到了进一步的完善.
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