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SSEC3308是一种单晶圆湿法处理设备,小型机的产能为每小时180片晶圆。它有八个工艺模块,可以任意配置成各种特定的应用,比如两面清洗,湿刻,以及去胶工艺。晶圆可以通过晶圆盒(cassette),或者以300毫米FOUP、200毫米SMIF pods的形式进行处理。所有的工艺参数都是PC控制的。