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用射频溅射制备了ZrO2膜,发现膜呈压应力剥落,用x射线衍射分析了薄膜中的应力,提出了避免剥落的对策.
ZrO2膜中的应力
【摘 要】
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用射频溅射制备了ZrO2膜,发现膜呈压应力剥落,用x射线衍射分析了薄膜中的应力,提出了避免剥落的对策.
【机 构】
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华中理工大学材料科学及工程学院,武汉,430074
【出 处】
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中国陶瓷
【发表日期】
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2000年2期
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