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本文针对超精密加工表面纳米级（０．１～１００ｎｍ）形貌的检测需要，设计并研制出了适用性很强的ＳＴＭ纳米级轮廓仪。为测量大试件和提高ＳＴＭ的扫描范围，本文采用了简化的定位机构并给出了一套ＳＴＭ陶管扫描器的补偿方法。所研制出的ＨＺＮＡＮＯ－Ⅲ型ＳＴＭ纳米级轮廓仪的扫描范围为４０μｍ×４０μｍ√１０μｍ，纵向分辨率为０．０２ｎｍ，横向分辨率为０．２ｎｍ。