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针对手提式薄膜方块电阻测试仪在使用中容易出现的问题,进行分析研究,提出了解决方案,并在实验中得到实现。研究的问题包括:电池供电的电压监测;探头完全与被测样品接触良好的检测;防止探针对被测样品造成电击穿;测量时自动进行量程转换等。
导电薄膜电阻测量技术的可靠性研究
【摘 要】
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针对手提式薄膜方块电阻测试仪在使用中容易出现的问题,进行分析研究,提出了解决方案,并在实验中得到实现。研究的问题包括:电池供电的电压监测;探头完全与被测样品接触良好
【机 构】
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广州半导体材料研究所;
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2009年03期
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