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在双层、异型硅外延中，通常采用预通掺杂剂二步外延法。本文对掺杂剂预通过程中产生的气一固扩散进行理论及实验研究，分析了预通条件（温度、时间、预通量等）对气一团扩散的影响，提出了减小Ｐ－Ｎ过渡区改进的二步外延法。
改进的二步法生长双层、异型硅外延材料
【摘 要】
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在双层、异型硅外延中，通常采用预通掺杂剂二步外延法。本文对掺杂剂预通过程中产生的气一固扩散进行理论及实验研究，分析了预通条件（温度、时间、预通量等）对气一团扩散的影响，提
【机 构】
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南京电子器件研究所
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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1994年01期
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