【摘 要】
：
薄膜晶体管(Thin film transistor,TFT)的栅极在截面方向上是一个台阶,栅极绝缘层(Gate Insulator,GI)和源漏极(Source和Data电极,SD电极)依次覆盖于台阶之上,覆盖程度以台阶
【机 构】
：
重庆京东方光电科技有限公司,重庆400700重庆大学物理学院,重庆400044;重庆京东方光电科技有限公司,重庆400700;中国科学院重庆绿色智能技术研究院,重庆400714;重庆京东方光电科技有限
论文部分内容阅读
薄膜晶体管(Thin film transistor,TFT)的栅极在截面方向上是一个台阶,栅极绝缘层(Gate Insulator,GI)和源漏极(Source和Data电极,SD电极)依次覆盖于台阶之上,覆盖程度以台阶覆盖率(台阶处GI层水平厚度与竖直厚度的比值)进行衡量.本文结合重庆京东方的HADS产品工艺制程,探究了栅极厚度、坡度角对GI层的台阶覆盖率的影响.同时,在覆盖率的基础上研究了台阶处和非台阶处的SD膜层刻蚀程度差异.结合量产中的不良,分析栅极坡度角、覆盖率、栅极腐蚀等相关不良的关系,并提出相应的良率提升措施.实验结果表明:坡度角是影响GI覆盖率的关键因素,且栅极坡度角与GI覆盖率呈负线性关系.当栅极厚度在280～500 nm范围变化时,栅极坡度角每增加10°,GI层台阶覆盖率下降约20％.SD膜层覆盖在台阶上,因台阶的存在造成此处的SD层减薄,最终导致该处的SD膜层刻蚀程度加大.如果栅极坡度角偏大,会导致台阶处GI层减薄或者产生微裂纹,工艺制程中的腐蚀介质会透过减薄的GI层进而腐蚀栅极;此外,偏大的栅极坡度角会导致台阶处的SD电极有断线的风险.通过刻蚀液种类变更、刻蚀液成分微调、刻蚀工艺的优化可以降低栅极坡度角,规避上述良率风险.此外,对于栅极腐蚀型不良,也可以通过调整GI层的成膜参数来提升覆盖率.对于SD电极断线风险,可尝试增加光刻胶粘附力、台阶处SD线加宽等措施规避风险.
其他文献
对于孩子们来说,童年的第一所幼儿园是家庭,第二所幼儿园是学校.但两点一线的生活,却也抹杀了孩子们自由探索的天性.环境育人,空间育人.设计师希望为孩子们创造第三所幼儿园,
细化考核内容。建立登陆点击“齐鲁先锋网”排名制度,每季度对站点登陆点击“齐鲁先锋网”和点播课件时长情况进行定量考核。建立教学考核制度,重点做好“四查”:教学计划制
作文是学生文字表达能力和思想水平的体现，是其遣词造句、组织写作素材能力和观察能力的综合训练。处于基础教育阶段的小学生，对其进行正确、有效的习作能力培养，关键在于循序渐
切实解决农村教育问题一直都是国家教育部老生常谈的问题，不论是从师资力量、教学设备还是从教学理念的转变方面，都进行了不遗余力的改革和发展，目前已经取得了不错的成效。但是
目的：比较硝普钠与硝酸甘油对扩张型心肌病心力衰竭病人的疗效；研究硝普钠与硝酸甘油对血浆中内皮因子一氧化氮(NO)、血栓素A2(TXA2)、前列腺素I2(PGI2)水平的影响。初步探讨硝
概述在临床工作中，非创伤性股骨头缺血坏死的发病主要发生于大剂量接触糖皮质激素之后，这是一种致残率极高的疾病，但其致病机制却十分复杂，且根本发病机理也未明确。随着分子生物
宁夏现有基层党组织17743个,其中基层党委850个,党总支910个,党支部15983个,党员375548名。自治区第十次党代会以来,特别是党的十七届四中全会以来,自治区党委常委会先后26次
在新四军领导人中,重视部队文化建设并身体力行的首推陈毅军长。他不仅创作了新四军军歌歌词,还以深厚的文化底蕴使不了解新四军的社会人士惊叹新四军中有能人,陈毅以词诗唱