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当今社会已进入信息技术时代,集成电路已经被广泛应用于各个领域,典型的集成电路制造过程可表示如下:在此,我们重点是讨论集成电路芯片加工过程中的一些关键手艺.集成电路基本工艺包括基片外延生长、掩模制造、曝光技术、刻蚀、氧化、扩散、离子注入、多晶硅淀积、金属层形成.
集成电路基本工艺
【摘 要】
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当今社会已进入信息技术时代,集成电路已经被广泛应用于各个领域,典型的集成电路制造过程可表示如下:在此,我们重点是讨论集成电路芯片加工过程中的一些关键手艺.集成电路基
【机 构】
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中国矿业大学,江苏,徐州,221000
【出 处】
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魅力中国
【发表日期】
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2011年16期
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