【摘 要】
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一、概 述 分子泵是一种用机械手段获得超高真空的新型设备。在从10-8～10-10托较宽广的工作范围内具有恒定的抽速,并能抽除包括惰性气体在内的绝大部分气体。(粉尘较重的气体
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一、概 述 分子泵是一种用机械手段获得超高真空的新型设备。在从10-8～10-10托较宽广的工作范围内具有恒定的抽速,并能抽除包括惰性气体在内的绝大部分气体。(粉尘较重的气体、易燃易爆的气体除外)。由于分子泵不需要工作液,又有上万转的高转速,那些分子量较大的气体,特别是油
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