【摘 要】
：
研究了预热型管式PECVD设备的结构及其对镀膜性能的影响。通过合理利用管式PECVD设备的净化台空间,对常规型管式PECVD设备的整体结构进行了优化设计,增加了具有预热功能的结
论文部分内容阅读
研究了预热型管式PECVD设备的结构及其对镀膜性能的影响。通过合理利用管式PECVD设备的净化台空间,对常规型管式PECVD设备的整体结构进行了优化设计,增加了具有预热功能的结构部件;然后通过实验研究了该预热型管式PECVD设备对沉积氮化硅薄膜工艺的影响。实验结果表明:预热型管式PECVD设备不仅能减少镀膜工艺的时长,提高产能,而且有利于提高炉管反应室截面温度场的均匀性、所镀膜厚的均匀性、太阳电池光电转换效率分布的集中度,从而有利于提高太阳电池的电性能,可在实际生产中推广应用。
其他文献
智能家居可实现对家电的智能控制、居家环境的实时监测,使生活更加智能、安全和便利。设计一种以智能网关为中枢,连接单片机模块,实现具有监控家居环境、多媒体娱乐、智能照
现阶段,伴随国内每个地区的图书馆人流量日渐增加,精细化管理在图书馆的管理中占有非常关键的地位。
高中文言文教学,可从五个方面帮助学生读懂文言文,从而培养学生的自学能力、质疑能力,健全以学生为主体,以培养个体自学与创新能力为宗旨的文言文教学模式。学生借助注释和工
随着互联网的不断发展,信息技术开始被广泛应用于教学中。由于受到新课改的影响,中学英语教学也进行了相应的改革与创新,通过采用微课教学,可以激发学生的学习兴趣,促使学生
当今时代是智能化时代,各种各样的人工智能技术不断出现并被完善,给人们的日常生活工作都带来了种种便利,人工智能技术的应用范围也很广泛。由于人工智能技术的运用,人们的生
随着我国教育水平的提高,导学式教学法的发明做出了突出的贡献,在小学数学教学运用中成绩斐然,让学生们主动学习,使学习数学成为他们的兴趣,让其思维创造能力在学习数学中充
文中阐述了制定浸渍纸层压木质地板生产线节能技术规范的重要意义。介绍了浸渍纸层压木质地板生产线的规划设计节能、生产线设备选型节能、除尘系统节能、压缩空气系统节能、
随着教育体制改革的不断推进,我们的课堂教学模式也发生了很大变化,其中体验式教学法深受广大教育者所欢迎,并广泛应用于教学之中。体验式教学法在课堂的广泛运用,不仅让学生
随着电能需求量持续增加,火电厂装机容量与机组参数也同步增长,随之所产生的能源消耗以及废气污染量也在提升。文中提出了几点优化火电厂热动系统节能方法的有效思路,以期能
在幼儿教育期间,需要明确幼儿在教学中的主体地位,尊重幼儿学生意愿,为学生在教学课堂上提供足够的自由空间。幼儿教师在指导学生进行游戏角色设定期间,需要充分调动学生的主