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<正> 前言精缩制版镜头为半导体集成电路制版工艺的重要设备之一。集成电路特别是大规模集成电路的制作对精缩制版镜头提出越来越高的要求。希望精缩镜头有尽量大的视场,尽量高的分辨本领。
大视场高分辨率精缩制版镜头设计
【摘 要】
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<正> 前言精缩制版镜头为半导体集成电路制版工艺的重要设备之一。集成电路特别是大规模集成电路的制作对精缩制版镜头提出越来越高的要求。希望精缩镜头有尽量大的视场,尽量
【出 处】
：
浙江大学学报
【发表日期】
：
1982年05期
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