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提出制作微结构的超声复合电加工方法。分析微细超声、超声复合电火花、超声复合电解微细加工过程机理。用微细放电组合技术制作多种截面形状微细工具电极；完善超声复合电加工试验系统，进行了多种材料、形状的微结构超声复合加工试验。结果表明：用超声加工是制作硬脆材料微结构的有效方法，用超声复合电火花制作的金属材料微结构有好的精度及稳定性；超声复合电解加工兼有效率高、精度好的技术优势。