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介绍电容薄膜真空计校准装置的研制过程,采用静态膨胀法原理,其测量范围为(1×10-1～1×104) Pa,相对扩展不确定度为(0.22％～0.06％)(七=2).装置体积比采用原位法进行测试,各体积比相对标准不确定度为0.02％.
电容薄膜真空计校准装置的研制
【摘 要】
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介绍电容薄膜真空计校准装置的研制过程,采用静态膨胀法原理,其测量范围为(1×10-1～1×104) Pa,相对扩展不确定度为(0.22％～0.06％)(七=2).装置体积比采用原位法进行测试,各体积比
【机 构】
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上海市计量测试技术研究院,上海200433
【出 处】
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中国仪器仪表
【发表日期】
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2020年9期
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