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以正钛酸丁酯，无水乙醇和冰醋酸为原料，采用Ｓｏｌ－ｇｅｌ工艺匀胶技术在石英玻璃和单晶硅衬底上成功地制备了ＴｉＯ２薄膜，薄膜表面均匀，致密，无裂纹。研究表明，随热处理温度的提高，薄膜经锐钛矿转变为金红石结构，其转变温度因衬底不同而异，但比凝胶粉末的转变温度高，金红石结构的ＴｉＯ２薄膜具有一定的择优取向性，其晶粒大小为０．０５～０．１５μｍ。