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随着微电子机械系统（MEMS）研究的深入和产业化的需求，检测技术在MEMS中的重要性越来越大。基于机器微视觉原理组建MEMS动态测试系统，在此系统之上，提出模糊图像合成技术对MEMS器件的平面微运动特性如谐振器的运动幅度、谐振频率等重要参数进行了测试，给出了测量结果，并对测试结果进行了分析和讨论。