化学腐蚀法制造硅微透镜列阵的实验研究

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jerry8006
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采用KOH:H2O的湿法化学腐蚀Si(100)晶片获得了球面轮廓曲线十分好的微透镜,透镜直径可从几个微米到几个毫米,焦距和孔径之比f/D可以从2.5到10以上,文章给出了微秀镜及列阵的实验测试结果和若干显微照片,对其设计与制造建立了半经验理论模型,最后,对球面的形成原理及异常焦斑形状作了讨论。
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