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通过等离子轰击可以有效提高金丝键合的可靠性。氩气等离子清洗后,基板容易金丝键合,破坏性拉力测试后键合点留压点,键合力有明显提高。5880基板最优的清洗参数是功率200 W,清洗时间600 s,气体流量150 ml/min,并且等离子处理之后2 h内完成键合,效果最佳。
提高基板键合可靠性的等离子清洗工艺研究
【摘 要】
：
通过等离子轰击可以有效提高金丝键合的可靠性。氩气等离子清洗后,基板容易金丝键合,破坏性拉力测试后键合点留压点,键合力有明显提高。5880基板最优的清洗参数是功率200 W,
【机 构】
：
河北诺亚人力资源开发有限公司,中国电子科技集团公司第五十四研究所,中华通讯系统有限责任公司河北分公司
【出 处】
：
电子与封装
【发表日期】
：
2017年07期
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