【摘 要】
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芯片互连层进行化学机械抛光（CMP）时，抛光液对互连金属的腐蚀问题是影响抛光后表面质量的重要因素。本文在含有氧化剂过硫酸钾（KPS）、络合剂甘氨酸（Gly）和缓蚀剂苯骈三氮唑（BTA）的抛光液体系中，对互连金属钴的界面腐蚀行为进行了研究。结果显示，强氧化剂KPS在互连层抛光液中并不能使钴表面形成稳定钝化，需要进一步引入BTA以抑制过度腐蚀。静态腐蚀实验和扫描电子显微镜观察显示，BTA能有效地降低钴
【基金项目】
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国家自然科学基金重大项目（No.51991374）资助；
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芯片互连层进行化学机械抛光（CMP）时，抛光液对互连金属的腐蚀问题是影响抛光后表面质量的重要因素。本文在含有氧化剂过硫酸钾（KPS）、络合剂甘氨酸（Gly）和缓蚀剂苯骈三氮唑（BTA）的抛光液体系中，对互连金属钴的界面腐蚀行为进行了研究。结果显示，强氧化剂KPS在互连层抛光液中并不能使钴表面形成稳定钝化，需要进一步引入BTA以抑制过度腐蚀。静态腐蚀实验和扫描电子显微镜观察显示，BTA能有效地降低钴在抛光液中的腐蚀，提高表面质量，电化学测试计算出其缓蚀效率最高可达99.02%。电化学阻抗谱和X射线光电子能谱揭示了腐蚀过程机理： Gly的加入可以溶解钴表面的二价及三价氧化物，破坏KPS形成的钝化层，BTA的引入会大幅增加电化学腐蚀过程的电荷转移电阻，从而抑制抛光液对钴的腐蚀。
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