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为评价超薄类金刚石（DLC）膜在使用过程中的安全状况，利用原子力显微镜（AFM）的多模式功能，从磨损、表面改性、力电失效3个方面对DLC膜进行了试验研究．研究结果表明：相同法向力作用在不同厚度薄膜的磨损深度不同；对DLC膜的形貌和电学特性进行比较发现，磨损区域导电性比未磨损区域强；在厚度为64．09nm薄膜施加正向25V电场作用下，当针尖作用在表面的压力超过一定临界压力（375nN）之后，薄膜发生击穿，形成凹坑。