等离子场真空渗碳研究

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本文研究了在等离子场中,工件不做阴极或阳极,因而工件上不产生辉光放电的条件下对工件渗碳的工艺。通过对不同温度下,工件无辉光渗碳工艺与辉光离子渗碳研究,证明了等离子场真空渗碳的可行性,并从渗碳速度上对以上两种工艺进行了比较。 This paper studies the plasma field, the workpiece does not do the cathode or anode, so the workpiece does not produce glow discharge conditions of the workpiece carburizing process. Through the study of the non-glow carburizing process and the glow-ion carburization of the workpiece under different temperatures, the feasibility of vacuum carburizing in the plasma field is proved, and the above two processes are compared from the carburizing speed.
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