Fe-（Co6Ag94）颗粒膜磁光芯片的制备及研究

来源 :核技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ahclgc

【摘要】

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采用二分掩膜技术向溅射沉积的Co6Ag94薄膜中组合注入Fe离子,制备成具有不同Fe含量的16单元Fe-(Co6Ag94)颗粒膜磁光芯片.对制备态和退火态的Fe-(Co6Ag94)颗粒膜的物相进行了X

【作者】

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魏仑王长征蔡英文李爱国张桂林王松有李建国

【机构】

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中国科学院上海原子核研究所,上海交通大学材料科学与工程学院,中国科学院上海原子核研究所,复旦大学光科学与工程系

【出处】

：

核技术

【发表日期】

：

2003年10期

【关键词】

：

磁光芯片组合离子注入 Fe-(Co6Ag94)颗粒膜克尔效应 Magneto-optic chip Combinatorial ion implantat

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采用二分掩膜技术向溅射沉积的Co6Ag94薄膜中组合注入Fe离子,制备成具有不同Fe含量的16单元Fe-(Co6Ag94)颗粒膜磁光芯片.对制备态和退火态的Fe-(Co6Ag94)颗粒膜的物相进行了XRD研究.不同退火温度下,物相的演变反映出了退火过程中Co、Fe相和FeCo相纳米微晶的析出长大过程.采用原子力显微镜(AFM)对薄膜表面的研究结果表明,在退火过程中形成了嵌于基底中的纳米颗粒相.对制备态和不同温度退火后芯片各单元的磁光性能进行了测量,结果表明极向Kerr旋转角θk随着注入Fe含量的增加而增大

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