Present Status of EUV Interferometer Development at the Research Center for Soft X-ray Microscopy

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：youare2b2

【摘要】

：

A new interferometer for extreme ultraviolet (EUV) radiation with a laser produced plasma (LPP) laboratory source is under construction. The LPP source is opera

【作者】

：

MasakiYamarnoto TadashiHatano

【机构】

：

ResearchCenterforSoftX-rayMicroscopy

【出处】

：

光学精密工程

【发表日期】

：

2001年5期

【关键词】

：

soft X-ray INTERFEROMETERS MULTILAYER mirrors FIGURE error imaging optics soft X

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A new interferometer for extreme ultraviolet (EUV) radiation with a laser produced plasma (LPP) laboratory source is under construction. The LPP source is operated with a Sn solid rod target on which pulsed YAG laser is focused to produce high temperature

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