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研究用新型功能材料-磁流变液制作阻尼固紧器，具有减小电机振动和实现微冲击同紧工作台的双重功能．通过有限元分析对其磁路进行了仿真，并用往复运动实验系统对其性能进行了标定．在纳米三坐标测量机上进行的纳米定位实验表明，加上磁流变阻尼固紧器后，工作台定位稳态波动从20nm减小到5nm以内，可实现纳米三坐标测量机纳米级定位稳态波动．