纳米三坐标测量机相关论文
为了实现纳米三坐标测量机(NMM)中大范围高精度的位移测量,建立了一种纳米精度的实用型外差干涉仪,对干涉仪的光学结构进行分......
六自由度微动工作台为纳米三坐标测量机的重要部件,用于实现工件的精密定位和空间综合误差的硬件修正.本文简介了微动工作台微型化......
本课题来源于国家自然科学基金重大国际(地区)合作项目(50420120134):纳米三维测量关键技术与系统研究。本文主要介绍了纳米三坐标......
本研究为纳米级三坐标测量机各个工作部分分别提出了可行的控制方案,为新型的位移传感器开发出相应的测量软件。 本研究所针对......
三维测量系统广泛应用于现代工业，特别是在精密制造监测中，三坐标测量机占有主导作用。随着MEMS技术的不断提高，微小器件的测量要求纳......
接触式探头作为微纳米三坐标测量机的主要组成部分之一,按照结构可分为触发式和扫描式两类。论文简要介绍了国内外微纳米三维探头......
稳定精密的环境是纳米三坐标测量机(Nano-CMM)测量的前提。传统的恒温室存在成本高、耗能高、以及内部人员活动会影响温控稳定性等......
目前主要利用微纳米三坐标测量机对具有高深宽/径比的微型器件进行高精度测量。而微球型探针作为微纳米三坐标测量机的核心部件,其......
近年来由于精密和超精密加工技术的高速发展，出现了许多微型构件，各种复杂表面件，微型电子器件，精密光学元件等零部件，其加工精度在微米......
对微器件系统进行高精度测量的增长需求引起了微/纳测量技术的快速发展。传统的三坐标测量机(CMM)由于测量系统的局限性往往只能测......
本论文基于C++Builder6.0开发环境开发了纳米三坐标测量机（nano-CMM）软件系统，主要程序模块如下：(1)开发了探头及位置传感器的信号处理......
三坐标测量机的高精度模拟接触式探头在计算探头球尖位移与传感器输出的关系时需要空间坐标转换模型与标定参数.标定方法基于自己......
针对所研制的纳米三坐标测量机的具体结构,运用现代精度保障理论和技术,结合动、静力学相关知识,进行了纳米量级水平的误差源全面......
三坐标测量机的高精度模拟接触式探头在计算探头球尖位移与传感器输出的关系时需要空间坐标转换模型与标定参数。标定方法基于自己......
研究用新型功能材料-磁流变液制作阻尼固紧器，具有减小电机振动和实现微冲击同紧工作台的双重功能．通过有限元分析对其磁路进行了仿......
主要分析了新型纳米三坐标测量机主体结构的动态特性，包括结构的振动特性以及结构的振动响应，其目的是为分析和评定纳米测量机的动态......
提出了一种基于DVD读取头原理的非接触光学聚焦探头，该探头由商用DVD读取头改装而成，已经完成其设计与制作。实验结果表明探头分辨率......
摘 要:针对所研制的纳米三坐标测量机的具体结构,运用现代精度保障理论和技术,结合动、静力学相关知识,进行了纳米量级水平的误差......
文章首先分析了三坐标测量机几种传统结构的力变形,在此基础上,应用ANSYS对纳米三坐标测量机的主体结构进行优化设计,提出了一种新......
基于误差分离技术，以德国SIOS公司的微型纳米级精度的三光束激光干涉仪SP2000为高精度的标准量，对正在研制的新型纳米三坐标测量机进......
以三光束平面镜微型激光干涉仪作为高精度的标准量,研究新型纳米三坐标测量机的误差检定方法,设计相应的激光头姿态调节架和目标靶......
根据纳米三坐标测量机结构、误差分布特征和精度要求,选用微型三光束平面激光干涉仪分离测量机误差。设计了误差分离装置,实现了干......
基于磁流变液制作的X向、Y向磁流变阻尼固紧器,采用新颖的横向卧式结构,解决了传统纵向立式阻尼固紧器磁流变液溢出密封和摩擦初始......
提出了一种用于纳米三坐标测量机接触式测头预行程测量的方法.确定了预行程需侦测接触点和触发点两个关键点.为了对该高灵敏度的测......
本文主要介绍了纳米三坐标测量机的驱动系统.纳米三坐标测量机是一个十分复杂的系统,包括复杂的机械结构,精密的信号处理系统,灵敏......
动态测试在现代计量中占有重要的地位，随着科学技术的进步，高精度动态测量已经成为计量测试的主流。所以如何准确地描述或评价一个动......
介绍了一种新型纳米三坐标测量机Z轴的结构设计.提出了两级驱动式结构,即通过粗动与微动相结合的驱动方式实现纳米级精度.第一级粗......
为高灵敏度纳米三坐标测量机（nano-CMM）接触式测头提出了一种高精度高效率的触发控制策略。该策略使用了一种自行研制的4-DVD接触式......
超精密加工技术的高速发展,引发器件微型化革命,对相应三维检测设备的测量精度提出更高要求,三坐标测量机为传统通用性高精度测量......
介绍了一种新型纳米三坐标测量机二维定位平台的结构设计。打破了传统二维定位平台堆栈的结构形式,引入了“共平面”的导向模式。......
利用现代精度设计思想,根据纳米三坐标测量机的结构设计,分析了影响其精度的各项误差源,提出所需检定仪器的具体技术指标;根据给定......
文章提出了一种基于DVD原理的非接触光学聚焦探头,它由商用DVD读取头改装而成,已经完成设计与制作。实验结果表明,此非接触探头分......
为避免常规三坐标测量机(CMM)中的阿贝误差,同时降低导轨运动误差对测量机测量不确定度的影响,研制了一种在三维测量方向上同时符......
利用现代精度设计理念设计纳米三坐标测量机的结构,选用高精度的零部件进行组装,解决了传统阿贝误差问题,通过研究现代精度保障理......
三维坐标测量机广泛的运用于精密测量行业中，超高精密技术的日益发展推动了纳米测试技术的发展，对三坐标测量机性能及精度提出更高的......
近年来纳米三维测量技术引起了广泛关注。由新型加工技术如MEMS,LIGA制备的微型工件往往具有介观尺度的大小,而具有纳米级的精度要......
在分析现有纳米三坐标测量机主体结构的基础上，提出了一种新型的四面对称式桥架结构，并利用ANSYS对主体结构进行分析与对比，从而证明......
