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温度变化对于大行程、高精度精密定位平台的精度有较大的影响，为此，提出了一种基于定位工作台热膨胀模型的实时温度补偿方法．试验结果表明，该补偿方法可将因温度影响而产生的工作台漂移均方根值降低80％以上，并且方法简单可靠，易实现实时补偿，能有效提高定位工作台的实际精度．
温度对精密定位工作台的影响及其补偿
【摘 要】
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温度变化对于大行程、高精度精密定位平台的精度有较大的影响，为此，提出了一种基于定位工作台热膨胀模型的实时温度补偿方法．试验结果表明，该补偿方法可将因温度影响而产生的工作
【机 构】
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上海工程技术大学机械工程学院,上海大学机电工程与自动化学院
【出 处】
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上海工程技术大学学报
【发表日期】
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2011年3期
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