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以氮化硅为主体，外加二氧化硅，研制低密度、高强、低介电的氧氮化硅陶瓷材料。通过分析材料烧结体的XRD物相图、材料的各项性能、材料的显微结构，得出二氧化硅含量对材料性能的影响规律，从而确定了材料最佳配方。
低介电氧氮化硅陶瓷的研制
【摘 要】
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以氮化硅为主体，外加二氧化硅，研制低密度、高强、低介电的氧氮化硅陶瓷材料。通过分析材料烧结体的XRD物相图、材料的各项性能、材料的显微结构，得出二氧化硅含量对材料性能的
【机 构】
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山东工业陶瓷研究设计院,济南大学材料学院,淄博市新材料研究所
【出 处】
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现代技术陶瓷
【发表日期】
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2009年1期
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