基于弹性薄板气浮垫的精密研抛机部件设计与分析

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针对弹性薄板气浮垫的精密研抛工艺要求,主要设计和改造了现有精密研磨抛光机的加载方式。为了能够实现弹性薄板气浮垫边充气边研磨抛光加工,针对弹性气浮垫的特有结构,提出一种端面气膜密封的旋转密封件以及分气站的设计方案。精密研磨抛光机的改造设计可以实现弹性薄板气浮垫在研磨抛光设备上自动研磨抛光。
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