氮化钽薄膜局部腐蚀早期过程的原位研究

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【摘要】

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利用离子束增强沉积(IBED)技术在1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢上制备了TaN薄膜,并通过电化学原子力显微镜(ECAFM)对TaN薄膜在NaCl溶液中的腐蚀早期过程进行了原位研究,重点观察了

【作者】

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俞春福徐久军黑祖昆

【机构】

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大连海事大学材料工艺研究所

【出处】

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材料保护

【发表日期】

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2002年5期

【关键词】

：

氮化钽薄膜局部腐蚀原位研究 ECAFM 离子束增强沉积不锈钢 TaN film ECAFM corrosion in situ

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利用离子束增强沉积(IBED)技术在1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢上制备了TaN薄膜,并通过电化学原子力显微镜(ECAFM)对TaN薄膜在NaCl溶液中的腐蚀早期过程进行了原位研究,重点观察了微观缺陷处的腐蚀状况.结果表明,在TaN薄膜的腐蚀早期阶段,腐蚀并非从缺陷处开始,反而在有坑的位置形成更厚的钝化膜,表现出较好的整平性,从而缓解了腐蚀进程.

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