【摘 要】
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运用约束刻蚀剂层技术(CELT)在金属镍(Ni)表面实现三维微图形加工，以规整的三维齿状微结构作模板，获得可有效CELT加工的化学刻蚀和捕捉体系，在Ni表面得到了与齿状结构互补的三维
【机 构】
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厦门大学化学系固体表面物理化学国家重点实验室,哈尔滨工业大学机器人研究所
【基金项目】
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科技部 863计划项目 (2 0 0 2AA40 41 70 )资助
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运用约束刻蚀剂层技术(CELT)在金属镍(Ni)表面实现三维微图形加工，以规整的三维齿状微结构作模板，获得可有效CELT加工的化学刻蚀和捕捉体系，在Ni表面得到了与齿状结构互补的三维微结构并应用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)表征刻蚀图案，证实CELT可用于金属表面Ni的三维微图形刻蚀加工．
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