论文部分内容阅读
分析了高温高浓度磷扩散工艺生产中的种种弊病，提出了类似于硼扩散的磷扩散方法，详细分析了新方法的可行性及优点，实验结果和理论分析一致。
发射结磷扩散方法的改进
【摘 要】
：
分析了高温高浓度磷扩散工艺生产中的种种弊病，提出了类似于硼扩散的磷扩散方法，详细分析了新方法的可行性及优点，实验结果和理论分析一致。
【机 构】
：
武汉大学物理系
【出 处】
：
半导体技术
【发表日期】
：
1998年2期
其他文献
论述了虚拟仪器在存储元件测量中的应用；介绍了采用虚拟仪器测试存储元件记忆特性的方法，并指出虚拟仪器的功能在基本硬件确定之后，可通过软件编程来实现，因而具有很大的灵活性，在
剖析了ＳＱＤ５０ＡＢ１００型ＧＴＲ功率模块的失效情况，分析了其二次击穿失效机理及引起失交的器件内部和外部原因，设计了一种快速有铲的ＧＴＲ过流保护电路。该电路使用效果显著，且自成单元，可灵活应用于各种场
为加强医学实验教学中心实验室安全与环保日常管理工作,就如下几个方面问题进行了分析：明确管理职能,落实安全责任制,加强实验室安全检查监督力度;建立健全实验室安全管理制度
目的研究及淋巴细胞存活与成熟必须因子（BAFF）、多药耐药相关基因（MRP）和程序死亡蛋白1的2配体（PD-L2）在大肠癌中的表达及其意义。方法应用免疫组化S-P法及检测大肠癌组织60例,大肠
应用反应动力学方法建立基元反应速率方程并按工艺条件进行耦合，得出了以宏观工艺参数表达的提纯速率方程，这种方程便于计算，能指导工艺优化并容易为工程师应用，计算结果与实验数
文章介绍了一种利用内嵌网络控制模块ArmCoretex-M4芯片作为主控器设计医疗物联接入网关的方法,着重介绍了芯片最小系统,信号采样和网络输出三个模块的设计,并给出详细的电路
康有为“去苦求乐”的观念，从近代转换的社会根源出发，与“至善”之道德观念、“竞关”之社会政治理想、“求真”之精神情感追求相互关联，具有吸取西方快乐主义幸福观、佛学“求
围绕着职业教育的培养目标,结合《医学影像成像原理》课程的特点,提出了＂让学生走上讲台＂的教学改革,并进行了实践,结果表明学生对这种教学改革持肯定的态度,认为可以提高他们