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用化学气相沉积方法制备了超薄有机硅膜.研究了等离子体聚合工艺过程中,工艺条件对膜的特性和沉积速率的影响.结果表明:沉积掺有苯环的有机硅膜增强了膜的强度和耐腐蚀性能.最近研制的膜已成功地用于一些工程中.
等离子体聚合掺有苯环的超薄有机硅膜
【摘 要】
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用化学气相沉积方法制备了超薄有机硅膜.研究了等离子体聚合工艺过程中,工艺条件对膜的特性和沉积速率的影响.结果表明:沉积掺有苯环的有机硅膜增强了膜的强度和耐腐蚀性能.
【机 构】
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浙江大学信息与电子工程学系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2001年4期
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