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石英晶体因其稳定的特性和压电效应，以及折射和分光特性，可制成用于定时的品振、光学元器件，还有用于检测压力、旋转及温度等物理量的传感器。
QMEMS技术改变晶体元器件的特性
【摘 要】
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石英晶体因其稳定的特性和压电效应，以及折射和分光特性，可制成用于定时的品振、光学元器件，还有用于检测压力、旋转及温度等物理量的传感器。
【机 构】
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EDN
【出 处】
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电子设计技术
【发表日期】
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2008年8期
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