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利用Ｘ射线光电子谱对ＨｇＣｄＴｅ表面氧特性进行了研究，对不同工艺过程中的ＨｇＣｄＴｅ表面进行了测量、分析。结果表明ＨｇＣｄＴｅ表面的自生氧化与表现处理工艺密切相关，说明ＨｇＣｄＴｅ表面钝化前的表面预处理直接影响钝纶层／ＨｇＣｄＴｅ的界面特性。
HgCdTe表面氧化特性
【摘 要】
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利用Ｘ射线光电子谱对ＨｇＣｄＴｅ表面氧特性进行了研究，对不同工艺过程中的ＨｇＣｄＴｅ表面进行了测量、分析。结果表明ＨｇＣｄＴｅ表面的自生氧化与表现处理工艺密切相关，说明ＨｇＣｄＴｅ表面钝化前的表面预处理直接影响钝纶
【机 构】
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华中理工大学
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1997年4期
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