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以场发射扫描电镜运行过程为研究对象,通过对某高校的场发射扫描电镜机组调研获得其运行流程并对其测试任务服务时长进行理论分布拟合,在此基础上利用Flexsim对场发射扫描电镜运行过程进行建模、仿真,发现运行过程中存在的问题,并对预约共享运行模式能否改善场发射扫描电镜运行过程进行仿真实验论证,为优化大型科学仪器设备利用率提供了参考。