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公开（公告）号：CNl02527676A公开（公告）日：2012．07．04发明（设计）人：孙良欣；徐国良；郭育林摘要：一种用于抗腐蚀掩膜浆料的清洗工艺方法，包括以下步骤：（1）碱溶液鼓泡：利用鼓泡加速掩膜浆料的脱离、溶解，去除大部分掩膜浆料；（2）纯水喷淋：利用喷淋的方式快速去除硅片表面残留化学品；