Effects of Homo-buffer Layer on Properties of Sputter-deposited ZnO Films

来源 :材料科学技术学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhuluzy

【摘要】

：

Two-step growth regimes were applied to realize a homoepitaxial growth of ZnO films on freestanding diamond substrates by radio-frequency(RF)reactive magnetron

【作者】

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Jian Huang Linjun Wang Run Xu

【机构】

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SchoolofMaterialsScienceandEngineering

【出处】

：

材料科学技术学报：英文版

【发表日期】

：

2009年5期

【关键词】

：

ZnO缓冲层 ZnO薄膜溅射沉积半导体特性分析系统氧化锌晶体扫描电子显微镜性能反应磁控溅射 Freestanding diamond ZnO fi

【基金项目】

：

AcknowledgementsThis work was supported by the National Natural Science Foundation of China （No. 60877017）, Program for Changjiang Scholars and Innovative Research Team in University （No. IRT0739）, Sh

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Two-step growth regimes were applied to realize a homoepitaxial growth of ZnO films on freestanding diamond substrates by radio-frequency(RF)reactive magnetron sputtering method.ZnO buer layers were deposited on freestanding diamond substrates at a low sp

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