【摘 要】
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日立和德克萨斯仪器公司共同开发出64MDRAM。在工艺中采用了0．35μmCOMS技术，芯片面积为228mm2。通过确立以使用i线步进机为前提的微细加工技术、采用高效补救电路作为缺陷补救
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日立和德克萨斯仪器公司共同开发出64MDRAM。在工艺中采用了0．35μmCOMS技术，芯片面积为228mm2。通过确立以使用i线步进机为前提的微细加工技术、采用高效补救电路作为缺陷补救技术的新颖设计方法，从试制初期开始就实现了稳定的高成品率并进入了大生产阶段。电源电压为3．3?
Hitachi and Texas Instruments jointly developed 64MDRAM. In the process using 0.35μmCOMS technology, the chip area of 228mm2. By establishing a microfabrication technology based on the use of an i-line stepper and adopting a high-efficiency remediation circuit as a novel design method of defect remediation technology, a stable high yield has been achieved from the beginning of trial production and has entered a large production stage. Power supply voltage is 3.3?
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